Global yarimo'tkazgich jarayoni 3nm/2nm ilg'or tugunlarga o'tayotganligi sababli, nozik titanium materiallari (ASTM B265/B348, 1/2/5 darajali yuqori-sof titanium va titanium qotishmalari) "yordamchi materiallar"dan yarimo'tkazgichlar kabi asosiy strategik materiallarga ko'tarilmoqda. ultra{8}}yuqori soflik, ultra{9}}past aralashmalar, kuchli termal barqarorlik, korroziyaga chidamlilik va magnit bo'lmagan{10}}xossalarga ega. Bozorning e'tibori va talabi sinxron ravishda ortib bormoqda.
Asosiy drayver: Murakkab jarayonlar materialni yangilashga majbur qiladi
Ilg'or yarimo'tkazgich jarayonlari (5 nm va undan past) materiallar uchun uchta asosiy qattiq yadro talablarini talab qiladi: nanometr darajasining aniqligi, atom darajasining tozaligi va ekstremal ekologik barqarorlik:
-Yuqori soflikdagi titanli maqsadli material (1-sinf, tozaligi 99,999%/5N dan katta yoki teng): PVD purkash yadro materiali, mis oʻzaro bogʻlovchi toʻsiq qatlami, kontakt vilkasi, mis atomi tarqalishining kremniy gofretlarni ifloslanishidan oldini olish uchun, toʻgʻridan-toʻgʻri mikrosxemalar va chiplarni toʻgʻridan-toʻgʻri aniqlash uchun mos keladi-03 jarayon.
-Aniq konstruktiv komponentlar (2/5 daraja): litografiya mashinasining ish stoli, qirqish mashinasi kamerasi, vakuumli gardish, gofret robotli qoʻli va boshqalar, past issiqlik kengayish koeffitsienti (8,6 × 10 ⁻⁶/ daraja) va harorat oʻzgarishiga ega, faqat alyuminiyning joylashishini oʻzgartirish darajasi 1-3 metr. aniqlik.
-Korroziyaga chidamli komponentlar (7-sinf): nam tozalash va tozalash uskunalarida kuchli kislota/galogen korroziyaga chidamli, metall yog‘inlari bilan ifloslanmaydi, yuqori vakuum va kuchli plazma ekstremal ish sharoitlariga mos keladi.
Amerika standarti titanium materiallarining asosiy afzalliklari
1. Ultra yuqori tozalik + ultra{2}}past aralashmalar: Amerika standarti 1-darajali yuqori-tozalikdagi titanium, nazorat qilinadigan kislorod/azot/uglerod aralashmalari<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Issiqlik barqarorligi + o'lchovli aniqlik: past issiqlik o'tkazuvchanligi (21,9 Vt/(m · K)), kichik issiqlik kengayish koeffitsienti, ± 0,005 mm gacha bardoshlik, sirt silliqligi Ra 0,4 m dan kam yoki unga teng, nano o'lchamdagi yig'ish va vakuumli muhrlash uchun mos.
3. Korroziyaga chidamlilik+magnit bo'lmagan+past gaz chiqishi: tabiiy oksid qatlami-o'z-o'zidan tiklanadi, Cl ₂/F ₂/kuchli kislota korroziyasiga chidamli; Magnit bo'lmagan va nozik davrlarga to'sqinlik qilmaydi; Havoning chiqishi ultra{5}}yuqori vakuumda (UHV) juda past bo'lib, kamera tozaligini ta'minlaydi.
4. Engil va yuqori mustahkamlik: Zichligi 4,51 g/sm³ (zanglamaydigan po'latdan 40% engil), 5-darajali valentlik kuchi 930MPa dan katta yoki unga teng, o'ziga xos quvvati zanglamaydigan po'latdan ikki baravar yuqori, yuqori{5}}tezlikdagi harakatlanuvchi qismlarning engil talablari uchun javob beradi.
Asosiy dastur stsenariylari
-Yuqori soflikdagi titanli maqsadli material (1-sinf): PVD purkash cho‘kmasi, mantiqiy/saqlash chiplari to‘siq qatlami va yopishtiruvchi qatlam uchun ishlatiladi, global bozor hajmi 2024-yilda 1,87 milliard AQSH dollari va CAGR 2026-2030-yillarda 9,3%.
-Vakuum kamerasi/gardish (2-sinf): yuqori bosimga chidamli, past gaz chiqarish va ishonchli muhrlanishga chidamli bo‘yash va joylashtirish uskunalari uchun vakuum tizimi.
-Aniq robotli qoʻl/oxirgi effektor (5-sinf): gofret oʻtkazish, engil va yuqori-kuchli, aniq joylashishni aniqlash va zarrachalar toʻkilmasligi.
-Korroziyaga chidamli astar/fiksator (7-sinf): HF/HCl kabi kuchli kislotalarga chidamli nam texnologik uskuna, uskunaning ishlash muddatini uzaytiradi va texnik xizmat ko‘rsatish xarajatlarini kamaytiradi.
Bozor tendentsiyasi: ichki almashtirish+texnologik yutuq
Global yarimo'tkazgich quvvatining kengayishi (ayniqsa, Xitoy materikida) nozik titanium materiallariga talabning tez o'sishiga olib keldi. 2023 yilda yarimo'tkazgichlar uchun Xitoyning titaniumli nozik qismlarining bozor hajmi 3 milliard yuandan oshadi, yillik o'sish sur'ati 25% dan oshadi. Amerika standartidagi 1/2/5 darajali aniqlikdagi titanium materiallarini (jumladan, 0,05 mm ultra-yupqa titanium folga, yuqori{10}}tozalikdagi maqsadli materiallar va aniq konstruktiv komponentlar) barqaror seriyali ishlab chiqarishga erishildi, bardoshlik va tozalik xalqaro ilg'or darajaga yetib, sanoatning yarimo'tkazgichlarni mustaqil nazorat qilishiga yordam berdi.
Ilg'or jarayonlar va ikki g'ildirakli haydovchining mahalliy o'rnini bosish sharoitida Amerika standartlariga javob beradigan nozik titanium materiallari yarimo'tkazgich sanoatini yangilash uchun asosiy yordamga aylandi. Kelajakda ular yuqori tozalik (6N), nozikroq xususiyatlar (0,05 mm dan kam yoki unga teng) va aniqroq ishlov berish (± 0,002 mm) bo'yicha o'tishda davom etadilar.
Narx so'rash
Email:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
